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基本信息
- 項目名稱：
- 1006A砂輪劃片機的技術(shù)改進
- 小類：
- 機械與控制
- 大類：
- 科技發(fā)明制作B類
- 簡介：
- 1006A砂輪劃片機目前在國內(nèi)的使用過程中對非標(biāo)準(zhǔn)、小尺寸的硅片加工時，高頻出現(xiàn)打刀的現(xiàn)象以及打刀、碎片后碎渣進入儀器內(nèi)部造成該機高頻出現(xiàn)電氣故障的問題，我們通過對儀器加裝可拆洗的雙重過濾吸納組件，同時對該機的吸盤真空度、進刀速度、冷卻水壓力等工藝參數(shù)進行了優(yōu)化調(diào)整，改進調(diào)整后，基本杜絕了打刀碎片現(xiàn)象以及由其引發(fā)的儀器高頻電氣故障，使劃片工序成品率提高。
- 詳細介紹：
- 針對1006A砂輪劃片機的構(gòu)造、工作原理、性能指標(biāo)等以及在目前國內(nèi)的使用過程中對非標(biāo)準(zhǔn)、小尺寸的硅片加工時，高頻出現(xiàn)打刀的現(xiàn)象以及打刀、碎片后碎渣進入儀器內(nèi)部造成該機高頻出現(xiàn)電氣故障的問題進行了仔細深入的研究，經(jīng)過科學(xué)分析，找出了高頻故障的原因，通過對儀器加裝可拆洗的雙重過濾吸納組件等設(shè)備改進，同時對儀器的真空度、進刀速度、冷卻水壓力及流量等工藝參數(shù)進行了優(yōu)化調(diào)整，改進調(diào)整后，基本杜絕了打刀碎片現(xiàn)象以及儀器由于打刀、碎片而引發(fā)的電氣故障，進而也使劃片工序成品率提高了8.9個百分點。
作品圖片
作品專業(yè)信息
設(shè)計、發(fā)明的目的和基本思路、創(chuàng)新點、技術(shù)關(guān)鍵和主要技術(shù)指標(biāo)
- 該劃片機在國內(nèi)使用過程中不同的工藝調(diào)整不乏先例，但針對儀器高問題頻電氣故障的改進卻是首例。針對1006A砂輪劃片機在使用過程中由于打刀、碎片所引起的高頻故障現(xiàn)象進行了研究，通過對儀器加裝可拆洗雙重過濾吸納組件等設(shè)備改進，基本能夠杜絕此類故障發(fā)生；同時對該機吸盤真空度、進刀速度、冷卻水壓力及流量等工藝條件進行實驗優(yōu)化，以減少打刀、碎片情況的發(fā)生，使劃片工藝得到優(yōu)化，產(chǎn)品質(zhì)量得到提高。
科學(xué)性、先進性
- 1.對進口設(shè)備進行國情化應(yīng)用技術(shù)改進，對于該類設(shè)備國產(chǎn)化制造具有重要意義。 2.改進后的設(shè)備，擴大了適用對象的范圍，節(jié)約了刀具、IC硅片等生產(chǎn)成本，降低了設(shè)備故障維修率，帶來了一定的經(jīng)濟效益。 3. 該工藝調(diào)整在集成電路研發(fā)、生產(chǎn)行業(yè)有較大的推廣前景和應(yīng)用價值。 4.理論與實際應(yīng)用相結(jié)合，對于加強學(xué)生創(chuàng)新意識、綜合素質(zhì)培養(yǎng)具有重要意義。
獲獎情況及鑒定結(jié)果
- 無
作品所處階段
- 實驗室階段
技術(shù)轉(zhuǎn)讓方式
- 無
作品可展示的形式
- 模型 圖紙 圖片
使用說明,技術(shù)特點和優(yōu)勢,適應(yīng)范圍,推廣前景的技術(shù)性說明,市場分析,經(jīng)濟效益預(yù)測
- 通對1006A砂輪劃片機的設(shè)備改進、加裝可拆洗雙重過濾吸納組件，解決了劃片機在切割非完整硅片、小尺寸硅片時高頻出現(xiàn)故障的問題，并且結(jié)合目前國內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境條件，通過對其吸盤真空度、進刀速度、冷卻水壓力及流量等工藝的調(diào)整優(yōu)化，使成品率顯著提高，生產(chǎn)成本大幅下降，同時也提高了生產(chǎn)效率降低了勞動強度，通過在生產(chǎn)實踐中的應(yīng)用，檢驗了其正確性、可操作性和實用性。針對目前國內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境條件，該工藝調(diào)整優(yōu)化在集成電路研發(fā)、生產(chǎn)行業(yè)有較大的推廣前景和應(yīng)用價值。
同類課題研究水平概述
- 目前，劃片機的主要生產(chǎn)商有美國APT公司，日本DISCO公司，日本東京精密TSK，以色列ADT，英國Loadpoint公司，俄羅斯OAO HИИTOП研究所等。劃片機的先進性主要體現(xiàn)在切割硅片的尺寸上，如2000年，日本DISCO公司就推出代表了劃片機最高技術(shù)水平的雙軸對裝式Ф300mm(12英寸)全自動劃片機。我國國產(chǎn)新型的雙軸Ф200mm(8英寸)精密自動劃片機，目前也已進入了實用化階段。由于劃片機技術(shù)的復(fù)雜性，大尺寸精密劃片機目前需要解決的共性技術(shù)問題主要有：1.機械系統(tǒng)的高剛度、高穩(wěn)定性、低損耗；2.高速高精度運動定位及控制技術(shù)；3.空氣靜壓主軸設(shè)計及制造技術(shù)等方面。 在劃片機的使用方面，根據(jù)具體情況要解決的實際問題各有千秋。例如，中國電子科技集團公司第四十六研究所根據(jù)實際情況對劃片刀具的轉(zhuǎn)速、切割速度與刀片壽命方面進行了研究，通過工藝實驗確定了碳化硅單晶的最佳切割轉(zhuǎn)速2400-2800r/min，切割速度小于8μm/s的最佳工藝條件；山東半導(dǎo)體研究所對使用1006A劃片機切割高硬度的玻璃鈍化管芯GPP進行了具體的工藝調(diào)整，空氣壓縮機氣壓調(diào)整為6.5-7.2kg/cm2時，減少了機器的故障率，主軸轉(zhuǎn)速由原來的300r/min提高到500r/min，解決了GPP切不透的問題。 對于1006A劃片機在切割I(lǐng)C硅片時，對形狀、尺寸方面的限制性問題，還未見針對性的解決報道。因此，我們的研究工作具有創(chuàng)新性，并且對于1006A劃片機適用性的推廣具有一定的推動作用。
