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基本信息
- 項(xiàng)目名稱：
- 1006A砂輪劃片機(jī)的技術(shù)改進(jìn)
- 小類：
- 機(jī)械與控制
- 大類：
- 科技發(fā)明制作B類
- 簡(jiǎn)介：
- 1006A砂輪劃片機(jī)目前在國內(nèi)的使用過程中對(duì)非標(biāo)準(zhǔn)、小尺寸的硅片加工時(shí)，高頻出現(xiàn)打刀的現(xiàn)象以及打刀、碎片后碎渣進(jìn)入儀器內(nèi)部造成該機(jī)高頻出現(xiàn)電氣故障的問題，我們通過對(duì)儀器加裝可拆洗的雙重過濾吸納組件，同時(shí)對(duì)該機(jī)的吸盤真空度、進(jìn)刀速度、冷卻水壓力等工藝參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化調(diào)整，改進(jìn)調(diào)整后，基本杜絕了打刀碎片現(xiàn)象以及由其引發(fā)的儀器高頻電氣故障，使劃片工序成品率提高。
- 詳細(xì)介紹：
- 針對(duì)1006A砂輪劃片機(jī)的構(gòu)造、工作原理、性能指標(biāo)等以及在目前國內(nèi)的使用過程中對(duì)非標(biāo)準(zhǔn)、小尺寸的硅片加工時(shí)，高頻出現(xiàn)打刀的現(xiàn)象以及打刀、碎片后碎渣進(jìn)入儀器內(nèi)部造成該機(jī)高頻出現(xiàn)電氣故障的問題進(jìn)行了仔細(xì)深入的研究，經(jīng)過科學(xué)分析，找出了高頻故障的原因，通過對(duì)儀器加裝可拆洗的雙重過濾吸納組件等設(shè)備改進(jìn)，同時(shí)對(duì)儀器的真空度、進(jìn)刀速度、冷卻水壓力及流量等工藝參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化調(diào)整，改進(jìn)調(diào)整后，基本杜絕了打刀碎片現(xiàn)象以及儀器由于打刀、碎片而引發(fā)的電氣故障，進(jìn)而也使劃片工序成品率提高了8.9個(gè)百分點(diǎn)。
作品圖片
作品專業(yè)信息
設(shè)計(jì)、發(fā)明的目的和基本思路、創(chuàng)新點(diǎn)、技術(shù)關(guān)鍵和主要技術(shù)指標(biāo)
- 該劃片機(jī)在國內(nèi)使用過程中不同的工藝調(diào)整不乏先例，但針對(duì)儀器高問題頻電氣故障的改進(jìn)卻是首例。針對(duì)1006A砂輪劃片機(jī)在使用過程中由于打刀、碎片所引起的高頻故障現(xiàn)象進(jìn)行了研究，通過對(duì)儀器加裝可拆洗雙重過濾吸納組件等設(shè)備改進(jìn)，基本能夠杜絕此類故障發(fā)生；同時(shí)對(duì)該機(jī)吸盤真空度、進(jìn)刀速度、冷卻水壓力及流量等工藝條件進(jìn)行實(shí)驗(yàn)優(yōu)化，以減少打刀、碎片情況的發(fā)生，使劃片工藝得到優(yōu)化，產(chǎn)品質(zhì)量得到提高。
科學(xué)性、先進(jìn)性
- 1.對(duì)進(jìn)口設(shè)備進(jìn)行國情化應(yīng)用技術(shù)改進(jìn)，對(duì)于該類設(shè)備國產(chǎn)化制造具有重要意義。 2.改進(jìn)后的設(shè)備，擴(kuò)大了適用對(duì)象的范圍，節(jié)約了刀具、IC硅片等生產(chǎn)成本，降低了設(shè)備故障維修率，帶來了一定的經(jīng)濟(jì)效益。 3. 該工藝調(diào)整在集成電路研發(fā)、生產(chǎn)行業(yè)有較大的推廣前景和應(yīng)用價(jià)值。 4.理論與實(shí)際應(yīng)用相結(jié)合，對(duì)于加強(qiáng)學(xué)生創(chuàng)新意識(shí)、綜合素質(zhì)培養(yǎng)具有重要意義。
獲獎(jiǎng)情況及鑒定結(jié)果
- 無
作品所處階段
- 實(shí)驗(yàn)室階段
技術(shù)轉(zhuǎn)讓方式
- 無
作品可展示的形式
- 模型 圖紙 圖片
使用說明,技術(shù)特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì),適應(yīng)范圍,推廣前景的技術(shù)性說明,市場(chǎng)分析,經(jīng)濟(jì)效益預(yù)測(cè)
- 通對(duì)1006A砂輪劃片機(jī)的設(shè)備改進(jìn)、加裝可拆洗雙重過濾吸納組件，解決了劃片機(jī)在切割非完整硅片、小尺寸硅片時(shí)高頻出現(xiàn)故障的問題，并且結(jié)合目前國內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境條件，通過對(duì)其吸盤真空度、進(jìn)刀速度、冷卻水壓力及流量等工藝的調(diào)整優(yōu)化，使成品率顯著提高，生產(chǎn)成本大幅下降，同時(shí)也提高了生產(chǎn)效率降低了勞動(dòng)強(qiáng)度，通過在生產(chǎn)實(shí)踐中的應(yīng)用，檢驗(yàn)了其正確性、可操作性和實(shí)用性。針對(duì)目前國內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境條件，該工藝調(diào)整優(yōu)化在集成電路研發(fā)、生產(chǎn)行業(yè)有較大的推廣前景和應(yīng)用價(jià)值。
同類課題研究水平概述
- 目前，劃片機(jī)的主要生產(chǎn)商有美國APT公司，日本DISCO公司，日本東京精密TSK，以色列ADT，英國Loadpoint公司，俄羅斯OAO HИИTOП研究所等。劃片機(jī)的先進(jìn)性主要體現(xiàn)在切割硅片的尺寸上，如2000年，日本DISCO公司就推出代表了劃片機(jī)最高技術(shù)水平的雙軸對(duì)裝式Ф300mm(12英寸)全自動(dòng)劃片機(jī)。我國國產(chǎn)新型的雙軸Ф200mm(8英寸)精密自動(dòng)劃片機(jī)，目前也已進(jìn)入了實(shí)用化階段。由于劃片機(jī)技術(shù)的復(fù)雜性，大尺寸精密劃片機(jī)目前需要解決的共性技術(shù)問題主要有：1.機(jī)械系統(tǒng)的高剛度、高穩(wěn)定性、低損耗；2.高速高精度運(yùn)動(dòng)定位及控制技術(shù)；3.空氣靜壓主軸設(shè)計(jì)及制造技術(shù)等方面。 在劃片機(jī)的使用方面，根據(jù)具體情況要解決的實(shí)際問題各有千秋。例如，中國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所根據(jù)實(shí)際情況對(duì)劃片刀具的轉(zhuǎn)速、切割速度與刀片壽命方面進(jìn)行了研究，通過工藝實(shí)驗(yàn)確定了碳化硅單晶的最佳切割轉(zhuǎn)速2400-2800r/min，切割速度小于8μm/s的最佳工藝條件；山東半導(dǎo)體研究所對(duì)使用1006A劃片機(jī)切割高硬度的玻璃鈍化管芯GPP進(jìn)行了具體的工藝調(diào)整，空氣壓縮機(jī)氣壓調(diào)整為6.5-7.2kg/cm2時(shí)，減少了機(jī)器的故障率，主軸轉(zhuǎn)速由原來的300r/min提高到500r/min，解決了GPP切不透的問題。 對(duì)于1006A劃片機(jī)在切割I(lǐng)C硅片時(shí)，對(duì)形狀、尺寸方面的限制性問題，還未見針對(duì)性的解決報(bào)道。因此，我們的研究工作具有創(chuàng)新性，并且對(duì)于1006A劃片機(jī)適用性的推廣具有一定的推動(dòng)作用。
