- 項(xiàng)目名稱：
- 基于刻蝕坑可控生長(zhǎng)的極紫外反射元件原子級(jí)拋光系統(tǒng)
- 項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)簡(jiǎn)介：
- 該項(xiàng)目指導(dǎo)教師為上海交通大學(xué)機(jī)械與動(dòng)力工程學(xué)院張?chǎng)稳苯淌?、任明俊教授，?xiàng)目團(tuán)隊(duì)共有4名成員(均為本科生)，其中主要發(fā)起人為機(jī)械動(dòng)力類-機(jī)械工程專業(yè)2020級(jí)本科生葉璟天，團(tuán)隊(duì)成員劉國(guó)興、崔維杰、葉子心均來(lái)自機(jī)械動(dòng)力類-機(jī)械工程專業(yè)。
- 項(xiàng)目亮點(diǎn)介紹：
- 超精密拋光是光學(xué)制造業(yè)的靈魂，是最精密的拋光方法，目前僅有德國(guó)、日本等極少數(shù)國(guó)家掌握。以極紫外光刻機(jī)制造過(guò)程為例，光刻機(jī)核心元件集光鏡要求在保留微結(jié)構(gòu)形貌的基礎(chǔ)上使表面粗糙度達(dá)到原子級(jí)，超精密 拋光是實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)的唯一途徑，但是這項(xiàng)技術(shù)卻對(duì)我國(guó)封鎖。該項(xiàng)目為“極紫外光刻機(jī)集光鏡等光學(xué)微結(jié)構(gòu)元件的超光滑拋光""這一""卡脖子""難題提供解決方案，旨在突破對(duì)我國(guó)的技術(shù)封鎖。項(xiàng)目提出基于刻蝕坑可控生長(zhǎng)的幾何包絡(luò)式拋光方法、""行星運(yùn)動(dòng)”式全域均勻拋光機(jī)構(gòu)、“照度反饋""實(shí)時(shí)在位監(jiān)測(cè)裝置等三項(xiàng)創(chuàng)新。該項(xiàng)目提出的原子級(jí)拋光系統(tǒng)能夠在保持光學(xué)微結(jié)構(gòu)形貌的同時(shí)使微結(jié)構(gòu)表 面粗糙度達(dá)到原子級(jí)。該項(xiàng)目在第十八屆“挑戰(zhàn)杯”全國(guó)大學(xué)生課外學(xué)術(shù)科技作品競(jìng)賽中獲特等獎(jiǎng)，并作為機(jī)械與控制主賽道唯一的優(yōu)秀獲獎(jiǎng)典型做公開(kāi)展示。項(xiàng)目成果包含學(xué)術(shù)論文2篇、國(guó)家發(fā)明專利4項(xiàng)，相關(guān)產(chǎn)品在上海光機(jī)所、航天八院、朗信光學(xué)、成都光明、中物院精密制造所等科研院所、企業(yè)獲得應(yīng)用。項(xiàng)目相關(guān)成果在先進(jìn)光學(xué)制造領(lǐng)域極具價(jià)值，在半導(dǎo)體制造、航空航天、國(guó)防軍工等行業(yè)具有廣闊的應(yīng)用前景。
- 參賽感悟收獲：
- 習(xí)近平總書(shū)記指出：“加快實(shí)現(xiàn)高水平科技自立自強(qiáng)，是推動(dòng)高質(zhì)量發(fā)展的必由之路。"第十八屆“挑戰(zhàn)杯“競(jìng)賽 為團(tuán)隊(duì)成員提供了一次十分寶貴的學(xué)習(xí)機(jī)會(huì)，幫助每一位團(tuán)隊(duì)成員鍛煉自身的創(chuàng)新能力、工作能力、協(xié)作能力與表達(dá)能力。團(tuán)隊(duì)成員認(rèn)為，科學(xué)研究的道路是漫長(zhǎng)的，每一項(xiàng)科學(xué)創(chuàng)新的誕生都需要研究者付出巨大的努力，唯 有腳踏實(shí)地、堅(jiān)持不懈，才能夠摘下“科技之樹(shù)”上豐碩的果實(shí)。在未來(lái)的工作中，項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)將繼續(xù)致力于"卡脖子" 難題的研究，以不懈的精神、昂揚(yáng)的斗志，在中華民族邁向偉大復(fù)興的光輝道路上書(shū)寫(xiě)科技報(bào)國(guó)的絢爛篇章!
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